| 特徴 |
この装置は親水処理や有機素材のエッチングなどに使用する装置です。主に電子顕微鏡試料の支持膜親水化、PDMS の貼り付け、油脂・有機材料などのエッチング（クリーニング）に使用します。
雰囲気ガスの導入・圧力調整機能を装備しています。ガスやガス導入量の調整であらゆる分野の研究などに役立ちます。
試料台は大型サンプルをそのまま処理を可能にする大面積フラットステージを採用。電界のムラやコンタミネーションの付着を防止します。
マニュアル調整も右からボタンを順に押すだけのオペレーターに易しいレイアウト。
調整・条件出し完了後は、中央のオートコントロール スイッチを押すだけ。
排気速度と放電条件のバランスを重視して、２系統の排気管を自動制御。
イオンダメージに弱いサンプル・熱ダメージに弱いサンプルを親水処理するため、試料台はフローティング方式を採用。 |
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